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自动膜片电阻测试仪 FTZ-45A

可测样品尺寸φ300x10
四探针法测试
可自动导航
带X-Y-Z移动机构
可测膜片的方块电阻或金属膜厚度,并输出方阻或电阻率分布
检测速度:2点/s
最大点数20000点
位置精度:0.005mm
可测硅片、导电膜方阻等。