四探针双电测厚度电阻测试仪 FTZ-42ST

仪器由测试台、四探针头、电脑、软件等组成。
四探针电阻测试仪有常规电阻量程用于测量薄片、膜类、块状、棒类等材料的电导率、电阻率、方块电阻、薄膜厚度等参数，如玻璃或陶瓷上导电薄膜（ITO）厚度或方块电阻、硅片和半导体电阻率，薄片金属、导电橡胶和防静电材料电导率等。也有高电阻量程、双电测方式、带厚度感应器等不同组合的电阻测试仪，可据需要选用适合款式。四探针测量方式的优点是消除了探针和样品接触电阻的影响。
厚度参数有通过已知材料的电阻率，通过方阻算出导电膜厚度，适合纯净材料的测试。也可直接通过亚微米级精度的厚度感应器在测电阻的同时测量出膜类材料的厚度，确保厚度和电阻测量在样品同一位置，特别适合不均匀膜类和片类材料的测量。同时，半自动的厚度测量和记录避免了人为误差，能获得更高的精度，也满足了实验室智能化、数据化的发展方向。这功能为国内首创。
运用直线或方形四探针，按改进性范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器，符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》，并参考美国 ASTM 标准。可测材料的电阻率、方阻及对应的环境温度，也可测元器件的接触电阻。